Isolateurs en céramique fraisés 5 axes pour équipements semi-conducteurs et salles blanches

Dans le monde à enjeux élevés de la fabrication de semi-conducteurs et des environnements de salle blanche, chaque composant doit offrir des performances irréprochables.PFT, nous sommes spécialisés dans l'artisanatIsolateurs en céramique fraisés 5 axesqui redéfinissent la précision et la fiabilité. Avec plus de 20Fortes de nombreuses années d'expertise, nos solutions sont conçues pour répondre aux exigences rigoureuses des équipements semi-conducteurs, garantissant la stabilité thermique, l'isolation électrique et un fonctionnement sans contamination dans des environnements ultra-sensibles.

Pourquoi choisir nos isolateurs en céramique fraisés à 5 axes ?

1.Capacités de fabrication avancées

Notre établissement est équipé defraiseuses CNC 5 axes de pointe, permettant une précision de l'ordre du micron dans le façonnage de céramiques avancées comme l'alumine (Al₂O₃), le carbure de silicium (SiC) et le nitrure d'aluminium (AlN). Contrairement aux méthodes conventionnelles, l'usinage 5 axes permet de réaliser des géométries complexes, essentielles pour des composants tels que les broches de levage de plaquettes, les pièces de chambre de dépôt et les isolants résistants au plasma.

Caractéristiques principales :

•Précision:Tolérance de ± 0,005 mm pour une intégration transparente dans les outils de lithographie ASML ou les systèmes de gravure Lam Research.
•Polyvalence des matériaux :Optimisé pour 99,8 % d'alumine, SiC de haute pureté et autres céramiques avancées.
•Finition de surface :Ra <0,2 μm pour minimiser la génération de particules dans les salles blanches de classe ISO 1.

2.Ingénierie des procédés exclusifs

Nos ingénieurs ont développécontrôles de processus en boucle ferméequi s'adaptent à la fragilité de la céramique pendant l'usinage. En combinant des techniques de fraisage à sec avec un amortissement des vibrations en temps réel, nous obtenons des surfaces exemptes de fissures et une durée de vie prolongée des composants, même sous des cycles thermiques extrêmes (jusqu'à 1 600 °C).

Pleins feux sur l'innovation :

•Protocoles de soulagement du stress :Minimiser les micro-fractures dans les isolants AlN pour les applications CVD.
•Traitements post-usinage :Le HIP (Hot Isostatic Pressing) améliore la densité et la résistance à la corrosion.

3.Assurance qualité rigoureuse

Chaque isolant subitInspection en 12 étapes, y compris:

•CMM (Machine à mesurer tridimensionnelle)validation des dimensions critiques.
•Test de fuite d'héliumpour la compatibilité avec le vide.
•EDS (spectroscopie des rayons X à dispersion d'énergie)pour vérifier la pureté du matériau.

NotreSystème certifié ISO 9001/14001assure la traçabilité depuis l'approvisionnement en matières premières (provenant de fournisseurs de niveau 1 comme CoorsTek) jusqu'à l'emballage final.

Applications : où la précision rencontre la performance

Nos isolateurs sont reconnus pour :

•Outils de gravure et de dépôt :Composants revêtus de SiC pour la résistance au plasma dans les modules Applied Materials™.
•Implanteurs d'ions :Broches de levage en alumine avec revêtements antistatiques pour empêcher le glissement des plaquettes.
•Systèmes de métrologie :Isolateurs à faible dilatation thermique pour étages de lithographie EUV.

Étude de cas :Un fabricant leader de semi-conducteurs a réduit les temps d'arrêt de ses outils de 40 % après avoir opté pour nos pommes de douche SiC conçues sur mesure, qui ont surpassé les pièces de ses concurrents dans le traitement des plaquettes de 300 mm.

Au-delà de la fabrication : une approche partenariale

•Prototypage rapide :Soumettez vos fichiers CAO et recevez des prototypes fonctionnels en 7 jours.
•Emballage en salle blanche sur site :Assemblage en salle blanche de classe 10 en option pour une intégration directe des outils.
•Assistance technique à vie :Nos ingénieurs fournissent des services d'analyse d'usure et de réusinage pour prolonger le cycle de vie des composants.